Лазерная зондовая станция — это высокоточное оборудование, которое объединяет две ключевые функции.
Первая функция — электрическое тестирование полупроводниковых структур, представляющее собой точное измерение электрических параметров на микроучастках полупроводниковой пластины или чипа с помощью тончайших зондов.
Вторая функция — лазерная коррекция, под которой понимается целенаправленное воздействие лазерным лучом для изменения геометрии или свойств материала, например, перерезания токопроводящих дорожек, удаления дефектных участков или послойного препарирования кристалла.
Основная цель применения таких станций — анализ отказов (Failure Analysis) и повышение процента выхода годных изделий на всех этапах — от разработки до массового производства.
Лазерные зондовые станции находят широкое применение в различных областях. Они используются для анализа отказов полупроводников, который включает локализацию и физический анализ дефектов в кристаллах. В этой сфере лазер применяется для вскрытия проблемных участков и последующего изучения их с помощью электронной микроскопии. Другая важная область — коррекция чипов в процессе производства. На финальных этапах изготовления микросхем, особенно памяти и логики, лазерные станции используются для отключения вышедших из строя ячеек и замены их резервными, что позволяет «спасти» бракованный кристалл. Также данные станции востребованы в НИОКР при характеризации материалов, включая исследование новых полупроводниковых материалов, тестирование прототипов устройств и изучение их работы при экстремальных температурах.
В зависимости от задач и бюджета, лазерные зондовые станции могут быть как ручными (для лабораторий и мелкосерийной работы), так и полностью автоматизированными (как TEG prober-G8.5 от Semishare), предназначенными для интеграции в высокопроизводительные производственные линии.
Вы можете купить такое оборудование в Москве, обратившись в компанию Векторстар.
